在半导体制造过程中,高纯有机溶剂常用于清洗、去胶等工艺步骤,通常来说,有机溶剂具有易燃易爆的特性,在静电作用下可能引发火灾或爆炸。因此,在半导体工厂中,所有有机溶剂的存储、运输和使用都需要特别注意静电防护,通常会采用不锈钢的容器和输送管路,但随着集成电路芯片制造工艺的进步,线宽关键尺寸不断缩小、芯片结构3D化,晶圆制造向更先进的工艺发展,对高纯有机溶剂的纯度要求也越来越高。因此,采用高纯、高洁净的PFA材料作为输送管道成为必要选择。
防止流体输送中静电产生和积累
提供可靠安全运输
在有机溶剂运输过程中,与不同材质的表面接触和摩擦时,会因电荷分离而产生静电。然而,大多数有机溶剂是电绝缘体,导电性能差,产生的静电不易消散。当静电积累到一定程度,且存在合适的放电路径时,可能会引发火花放电。在易燃或可爆炸的有机溶剂环境中,这样的火花可能成为火灾或爆炸的点火源,且其具有隐蔽性、潜在性、随机性和复杂性,为火灾或爆炸危害埋下了重大的安全隐患。除此以外,电火花的产生也会损害系统中的流体处理部件,对设备机台的正常运行产生影响。
静电防护措施
至关重要!
为了防止流体输送中静电的产生和积累,科百特继高纯PFA管批量供货之后,推出CleanPass™系列PFA防静电管,专为解决有机溶剂运输中的静电问题,为有机溶剂安全运输提供保障。CleanPass™系列PFA防静电管结合高纯PFA原料与导电碳材料,采用一体挤出成型工艺制造。管道外部的电荷积聚后,通过导电条连接金属接地,将静电安全导向地面,有效排除静电风险,确保有机溶剂的安全运输。
科百特 CleanPass™ 系列 PFA 防静电管具有优秀的导电性能。运用先进的洁净管控技术,Cobetter PFA防静电管洁净度高,金属离子析出更低。除此之外,在耐压和材料耐久性方面都有优异的表现。
- 耐化学性、耐热性好(与PFA管相同)
- 便于观测流体
- 具备静电导流能力(阻止由于静电产生的绝缘破坏)
- 低电阻,导电好
科百特 CleanPass™ 系列PFA防静电管在原有高纯PFA管基础上,针对高纯有机溶剂的输送方面进行了补充,为客户提供更全面的流体输送解决方案,更好的服务。